X射線熒光光譜儀主要由以下幾個(gè)部分構(gòu)成：

 

激發(fā)源：通常為X射線管，是X射線熒光光譜儀的重要組件。燈絲和靶極密封在抽成真空的金屬罩內(nèi)，燈絲發(fā)射的電子經(jīng)高壓電場(chǎng)加速撞擊在靶極上，產(chǎn)生一次X射線，用于激發(fā)樣品中的元素。

 

樣品室：用于放置樣品，部分儀器的樣品室支持真空或氦氣環(huán)境，以優(yōu)化分析條件。樣品臺(tái)通常具有多個(gè)軸向調(diào)節(jié)功能，可以調(diào)整樣品的位置和角度，以提高檢測(cè)精度。

 

分光系統(tǒng)：波長(zhǎng)色散型X射線熒光光譜儀的分光系統(tǒng)主要部件是晶體分光器，其作用是通過晶體衍射現(xiàn)象把不同波長(zhǎng)的X射線分開。分光晶體靠一個(gè)晶體旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)，為了檢測(cè)到特定波長(zhǎng)的熒光X射線，分光晶體轉(zhuǎn)動(dòng)θ角，檢測(cè)器必須轉(zhuǎn)動(dòng)2θ角。能量色散型X射線熒光光譜儀則沒有復(fù)雜的分光系統(tǒng)，依靠半導(dǎo)體探測(cè)器直接測(cè)量熒光X射線的能量。

 

檢測(cè)記錄系統(tǒng)：常用的檢測(cè)器有流氣正比計(jì)數(shù)器、閃爍計(jì)數(shù)器和半導(dǎo)體探測(cè)器等。流氣正比計(jì)數(shù)器適用于輕元素的檢測(cè)，閃爍計(jì)數(shù)器適用于重元素的檢測(cè)，半導(dǎo)體探測(cè)器主要用于能量色散型X射線的檢測(cè)。檢測(cè)器將X射線光子能量轉(zhuǎn)化為電能，產(chǎn)生脈沖信號(hào)，經(jīng)放大器、脈沖幅度分析器等處理后，由記錄顯示儀器記錄下來，得到熒光X射線譜圖。

 

數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)：通常由計(jì)算機(jī)和分析軟件組成，對(duì)檢測(cè)到的光譜數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，通過特定的算法和模型，將光譜信息轉(zhuǎn)化為樣品中各種元素的種類及含量，生成定性和定量分析結(jié)果。